Q:技術路徑
新能源和光伏應用赹來赹受到重視,國內碳化硅投資也在增大。現在國內有 2 種技術路徑,第一是加熱方式方面,一個是電阻加熱,另外一個是感應加熱,但方法還是氣相法為主,目前也有用液相法的但還沒有成為主流,所以現在大家還是認同氣相法為主。目前有一些廠商開始嘗試電阻方法,寧波有一家公司推出電阻法加熱的晶體生長爐。目前絕大部分廠商使用的是感應加熱方法,優點是能耗低但控制比較難。電阻加熱發設備複雜,能耗高,但穩定性方面是丌錯的。CREE是用電阻加熱,但他們6寸也有感應加熱。一段時間內,如果 6 英寸是兩種方法共存的,究竟哪個更好還是要等以後大規模生產才能下結論。