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半導體芯科技8/9月刊雜誌
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2022 年 8 月 8 日，天芯微半導體首台先進制程硅基外延設備首發儀式在無錫高新區舉行。天芯微此次發布的 Epi 300 Compass AP 硅基外延減壓設備是半導體前道工藝中
的關鍵設備，廣泛應用於功率器件、28nm 及以下先進制程的邏輯、存儲器件的生產製造。Epi 300 Compass AP 的各項性能均達到了國際先進水平，部分核心性能已經超過國際同類產品，並得到了客戶的肯定。
江蘇天芯微半導體設備有限公司是先導集團旗下的一家集成電路高端裝備製造商，公司核心團隊來自全球領先的半導體設備公司，擁有 25 年的先進半導體裝備研發、製造經驗。公司以硅基外延技術為核心，致力於半導體前道關鍵工藝設備的研發與製造，為集成電路行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。
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