鑽石舞台

歷史跟蹤：

深度報告：

中微公司深度：國之重器，風禾盡起 20210722

點評報告：

2022中報點評 20220811

2022中報預告點評 20220706

2021年報點評 20220404

事件：10月27日，中微公司發布2022年三季報。公司3Q22單季度實現收入10.71億元，同比增長45.92%；實現歸母淨利潤3.25億元，同比增長123.91%；實現扣非淨利潤2.03億元，同比增長96.69%。

收入穩健增長，訂單增勢不減。

得益於國內晶圓廠的持續擴產和設備國產化推進，3Q22公司維持了穩健的收入增長，單季度實現營收10.71億元，同比增長45.92%，環比增長4.75%。利潤端，公司依舊保持了較高的盈利水平。3Q22毛利率達到45.78%，同比提升2.5 pct，環比提升0.5 pct，穩中有升，單季度實現歸母淨利潤3.25億元，同比增長123.91%，淨利率達到30.32%，同比提升10.6 pct。

訂單方面，公司依舊維持了較高的訂單增速，前三季度新簽訂單56.4億元，同比增長60.24%，對應Q3單季度新簽訂單25.83億元，同比增長58.37%。

刻蝕主業穩健增長，MOCVD新品放量。

作為國內刻蝕設備龍頭，公司在維持CCP刻蝕領先地位，市場占有率不斷提升，同時ICP刻蝕亦實現收入放量。2022年前三季度設備收入20.01億元，同比增長48.00%。包括CCP刻蝕設備14.51億元，同比增長29.27%；ICP刻蝕設備5.51億元，同比增長139.33%。對應Q3單季度刻蝕設備收入7.02億元，同比增長42.11%。與此同時，公司MOCVD新品收入開始釋放，前三季度收入3.88億元，同比增長27.70%，對應Q3單季度收入1.47億元，同比增長72.94%。

多種在研新品蓄勢待發。

1）刻蝕：公司正在開發的用於邏輯器件大馬士革刻蝕及用於極高深寬比應用的刻蝕機取得了很好的進展，將陸續進入市場。此外應客戶的技術發展需求，公司亦在進行更高工藝節點的刻蝕設備開發，以滿足5納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和200層以上的3D NAND芯片等產品的刻蝕需求。

2）LPCVD：公司新開發的LPCVD設備可用於邏輯器件接觸孔填充及3D NAND中多個節點，已經通過關鍵客戶工藝驗證。用於金屬阻擋層和金屬柵極製造的ALD設備也在積極推進中。

3）EPI：用於28nm以下製程鍺硅外延生長工藝的EPI設備研發順利，已進入樣機製造和調試階段。

4）MOCVD：製造硅基氮化鎵功率器件用MOCVD設備已在客戶產線上驗證；製造Micro LED應用的新型MOCVD設備以及用於碳化硅功率器件應用的外延設備等也正在開發中。多種新產品順利推進之下，我們看好公司在刻蝕/薄膜兩大設備領域的平台化延伸和長線成長。

投資建議：我們預計公司2022-2024年營收分別為47.23/63.82/86.31億元，對應現價PS分別為14/10/7倍，考慮到公司作為國內半導體設備龍頭的市場地位，有望享受下游擴產和國產化紅利，維持「推薦」評級。

風險因素：產品驗證不及預期；下遊行業周期性波動；市場競爭加劇。

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