集微網 - 【專利解密】南大光電發明「高分辨率光刻膠方案」改善光刻膠成膜能力；全國第25家專門知識產權法庭，無錫知識產權法庭獲批建設；－鑽石舞台

1.【專利解密】南大光電發明「高分辨率光刻膠方案」改善光刻膠成膜能力

2.全國第25家專門知識產權法庭，無錫知識產權法庭獲批建設

3.蘋果與專利「敵人」Uniloc達成罕見一致合作應對專利泄露風險

4.新觸摸控制專利曝光 AirPods Max 2或增加新操控方式

5.乘員「夾在」兩電池組之間法拉利純電動跑車專利曝光

1.【專利解密】南大光電發明「高分辨率光刻膠方案」改善光刻膠成膜能力

【嘉勤點評】南大光電發明的高分辨率光刻膠方案，在採用含雙酯結構的光致酸產生劑的條件下，通過添加帶酯鍵的酸擴散抑制劑，進一步改善了光刻膠的線寬粗糙度，不僅能夠提高光刻膠的分辨率，也可以增強光刻膠的成膜能力。

集微網消息，光刻膠(又稱光致抗蝕劑)是指通過紫外光、準分子激光、電子束、離子束、X射線等光源的照射或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料。主要用於集成電路和半導體分立器件的微細加工，同時在平板顯示、LED、倒扣封裝、磁頭及精密傳感器等製作過程中也有着廣泛的應用。

由於光刻膠具有光化學敏感性，可利用其進行光化學反應，將光刻膠塗覆半導體、導體和絕緣體上，經曝光、顯影后留下的部分對底層起保護作用，然後採用蝕刻劑進行蝕刻就可將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工的襯底上。

在整個生產過程中，光刻膠中除了主體樹脂和光致產酸劑外，往往還要加入酸擴散抑制劑，其主要作用是在曝光前阻止成膜樹脂的溶解，起阻溶作用，曝光後光刻膠中的光產酸劑所產生的酸則催化其脫去酸敏基團，使得酸擴散抑制劑變成極性化合物，進而促進樹脂的溶解，從而增大了非曝光區與曝光區的溶解反差，提高抗蝕劑的分辨率。

目前，市面上可供光刻膠使用的酸擴散抑制劑僅僅只是在結構中增加一定數量的羥基，以增強其與樹脂間的相容性，並未解決如何進一步改善光刻膠的分辨率的技術方案。因此，現有技術還有待改善。而南大光電則在2021年1月22日申請了一項名為「一種高分辨率光刻膠」的發明專利（申請號：202110089845.2），申請人為寧波南大光電材料有限公司。

在該專利中，發明了一種新型的高分辨率光刻膠方案，根據該專利目前公開的相關資料，讓我們一起來看看這項技術方案吧。

在該方案中，主要採用含有雙酯結構的光致產酸劑、帶酯鍵的酸擴散抑制劑以及特定結構的成膜樹脂來生產、製造高分辨率光刻膠，這些材料的混合，可以使得高分辨率光刻膠表現出較好的光刻性能。

其製備方法主要如下：首先，在氮氣保護環境下，將98g的馬來酸酐溶解於100g甲苯中後，加入220g的環己醇以及50g的對甲苯磺酸，攪拌均勻後升溫至90℃進行酯化反應12h，加入100g乙酸乙酯並使用50mL的去離子水洗滌兩次，然後乾燥有機層，脫溶得到162g的丁二酸酯類化合物。經檢測，該過程中的轉化率為58％。

其次，取56g的丁二酸酯類化合物溶於200g的去離子水中，加入25g的亞硫酸鈉，混合均勻後在100℃條件下反應24h，反應完成後採用500g的乙酸乙酯進行萃取，然後脫溶，得到47g的雙酯基磺酸鈉化合物。經檢測，該過程中的轉換率為61％。

接着，取38g的雙酯基磺酸鈉化合物溶於100g去離子水中，滴加150g的三苯基氯化硫鎓鹽水溶液(質量分數20％)，攪拌12h後，採用500g的二氯甲烷進行萃取。然後採用50g的去離子水洗兩次，水洗後使用無水硫酸鎂乾燥，脫溶得到38g的含雙酯結構的光致酸產生劑。經檢測，該過程中的轉換率為62％。

最後，將通過上述過程製備得到的高分辨率光刻膠在硅片上以2500轉/分鐘的速度旋轉成膜，然後在120℃熱板上烘烤90s，烘烤完成後在曝光機上機上以曝光強度45mJ/cm2的光照曝光，曝光完成後在110℃熱板上烘烤90s，最後在2.38％TMAH顯影液中顯影60s，然後烘乾在電子顯微鏡檢測光刻。

該方案得到的光刻圖像如上圖所示，可以看出，該方案製備得到的光刻膠減小了製作的電路的線寬和線寬粗糙度，其中含雙酯結構的光致酸產生劑能產生有效的可控大體積酸，同時添加與帶酯鍵的酸擴散抑制劑後可製備出高分辨率光刻膠，極大的提升光刻膠的分辨率。同時，該材料與樹脂相容，提高了成膜後黏附性，改善了光刻膠的整體性能。

以上就是南大光電發明的高分辨率光刻膠方案，這種光刻膠在採用含雙酯結構的光致酸產生劑的條件下，通過添加帶酯鍵的酸擴散抑制劑，進一步改善了光刻膠的線寬粗糙度，不僅提高了光刻膠的分辨率，也增強了光刻膠的成膜能力。

關於嘉勤

深圳市嘉勤知識產權代理有限公司由曾在華為等世界500強企業工作多年的知識產權專家、律師、專利代理人組成，熟悉中歐美知識產權法律理論和實務，在全球知識產權申請、布局、訴訟、許可談判、交易、運營、標準專利協同創造、專利池建設、展會知識產權、跨境電商知識產權、知識產權海關保護等方面擁有豐富的經驗。

（校對/holly）

2.全國第25家專門知識產權法庭，無錫知識產權法庭獲批建設

集微網消息，無錫市知識產權局消息顯示，近日，最高人民法院作出《關於同意江蘇省無錫市中級人民法院內設知識產權專門審判機構並調整江蘇省蘇州市中級人民法院管轄範圍的批覆》，原則同意在江蘇省無錫市中級人民法院內設專門審理知識產權案件的機構，標誌着無錫知識產權法庭建設工作全面啟動。

根據批覆，今後發生在無錫市轄區內的專利、植物新品種、集成電路布圖設計、技術秘密、計算機軟件的權屬、侵權糾紛以及涉馳名商標認定、壟斷糾紛的第一審知識產權民事、行政案件，以及發生在無錫市轄區內除依法應由基層人民法院管轄之外的第一審知識產權民事、行政和刑事案件，由無錫知識產權法庭管轄。

無錫知識產權法庭就此成為全國第25家專門知識產權法庭。

據了解，其他知識產權法庭還包括南京、蘇州、寧波、溫州、深圳、武漢、成都、杭州、合肥、濟南、青島、福州、天津、西安等。（校對/小北）

3.蘋果與專利「敵人」Uniloc達成罕見一致合作應對專利泄露風險

北京時間2月10日消息，蘋果公司與其經常在法庭上的「老對手」、「專利敵人」Uniloc公司實施了一次不同尋常的「合作」，雙方在本周三（當地時間2月9日）共同勸說美國上訴法院暫時對Uniloc的專利許可條款保密。

美國聯邦巡迴上訴法院表示，舊金山一名地方法官此前一起案件裁決時，誇大了公眾利益在信息中的價值，導致蘋果和Uniloc公司可能面臨專利泄露的風險。此外，這位地方法官還駁回了Uniloc有關封存記錄的提議。上訴法院在接到蘋果和Uniloc公司的「共同建議」後，將上述案件發回給地區法官威廉·阿爾蘇普（William Alsup）予以第二次重新審查。

據了解，Uniloc是軟銀旗下堡壘投資集團的附屬公司，其已提起過數百起專利侵權訴訟。在公司在2017年就智能手機相關專利起訴蘋果，而這只是Uniloc實對這家科技巨頭提起的數起訴訟之一。值得一的是，雙方在去年就基礎案件達成和解。

據了解，美國聯邦巡迴法院先前確認了這起案件的判決存在瑕疵，但上訴法院法官也明確表示，需要重新考慮有關Uniloc與第三方（蘋果公司）專利許可的信息，包括他們的條款、被許可人的姓名和他們支付的金額是否應該保密。

4.新觸摸控制專利曝光 AirPods Max 2或增加新操控方式

早在蘋果第一代AirPods Max發布後，其設計團隊在採訪中便透露出曾在一代AirPods Max上試用過觸摸控制。希望為AirPods Max增加扭轉耳機方向、耳罩觸摸控制等功能，但最終在產品發售時，還是選擇了DigitalCrown。

就在最近，有外媒曝光了蘋果公司一項有關AirPods Max無線耳機的專利。

信息顯示：該專利將新款AirPods Max上使用觸摸控制設計，而非目前的數字錶冠（DigitalCrown）設計，將允許控制Siri、調整音量、調整歌曲等功能。

需要注意的是，這並不是蘋果公司獲得的第一份有關AirPods Max無線耳機觸摸控制設計的專利，蘋果公司至少還擁有三份相關內容的專利。

5.乘員「夾在」兩電池組之間法拉利純電動跑車專利曝光

近日，一項法拉利電動跑車的專利在國外得到公布，該專利展示了法拉利的底盤設計理念，其能夠支持混合動力和純電動汽車。法拉利的專利展示了一種使用多個電池組的設計方案，並將它們夾在底盤和車殼之間，重點是保持底盤的剛性，同時保證留給電池組的空間。其想法是創建一個可以製成車輛的框架，並將其連接到一個容納電池的底座上，這些部件會被固定在一起，進而形成完整的結構。值得注意的是，法拉利的專利圖中展示了BT1和BT2兩個電池組，而車內乘員的座椅則被安置在了這兩個電池組之間，像是被「夾住」了一樣。